真空镀膜机质量

真空镀膜机排除故障应先低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室），低真空正常后再开主泵，主泵工作正常后下室真空中是否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检漏，直至达到工作真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。

在产品质量中，真空镀膜机常见的质量问题有哪些？

一、当正在镀膜时真空度突然下降

1、蒸发源水路胶圈损环

2、柑竭被打穿

3、高压电极密封处被击穿

4、工转动密封处胶圈损坏

5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏

6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏

7、机械泵停机可能是继电器断开

8、烘烤引入线电极密封处被击穿

9、挡板动密封处胶圈损坏

10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂

二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空︰

1、蒸发室有很多粉尘

2、扩散泵很久未换油

3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低

4、各动密封胶圈损坏

5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化

6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏

7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象

8、高低预阀是否密封可靠

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